Zirconium Sputtering Target

Zirconium Sputtering Target suppliers

Zirconium Sputtering Target factory

Zirconium Sputtering Target best

Zirconium Sputtering Target high quality

Мішень для напилення цирконію

Цирконієві мішені для напилення зазвичай бувають різних розмірів залежно від застосування, сумісності обладнання та процесу виробництва. Доступні наступні стандартизовані та налаштовані діапазони розмірів: Круглі цирконієві мішені (основний розмір) Діаметр: 2 дюйми (50,8 мм) — Мінімальний розмір, що зазвичай використовується, підходить для невеликого експериментального обладнання та систем точних покриттів 3 дюйми (76,2 мм) — Стандартний розмір у промисловості напівпровідників і оптичних покриттів, широко використовується в обладнанні для магнетронного розпилення 4 дюйми (101,6 мм) — Основний розмір для промислового масового виробництва, збалансована ефективність і вартість 6 дюймів (152,4 мм) — Зазвичай використовується у високо-виробництві, підходить для великих-потреб у покритті-площіφ200 мм – φ600 мм — Підтримуються параметри налаштування великого-розміру, часто використовуються в таких спеціалізованих галузях, як сонячна енергетика та панелі дисплеїв. Товщина: 3 мм – 10 мм — найбільша загальний діапазон товщини, збалансоване використання матеріалу та рівномірність напилення. 12 мм – 40 мм — для високо-потужних або -тривалих-застосунків, таких як дослідницькі-класи чи системи безперервного виробництва. Прямокутні/плоскі мішені Діапазон розмірів: 100 мм × 30 мм — маленькі прямокутні мішені, які зазвичай використовуються в лабораторних дослідженнях. 200 мм × 50 мм до 500 мм × 150 мм — промислові-плоскі мішені, придатні для великого PVD-обладнання. Товщина: Зазвичай 5 мм – 15 мм, регулюється відповідно до розміру підкладки та вимог до рівномірності напилення. Доступне налаштування відповідно до креслень, зокрема: неправильні контури (у формі кільця, еліпса,-віяла) Спеціальна товщина (<2 mm ultra-thin targets or >Мішені товщиною 50 мм) Обробка поверхні (глянцева обробка, кислотно-промита обробка, Ra1,6 мкм полірована)

Послати повідомлення

Ні

Опис

Назва продукту: Цирконієва мішень для напилення

Клас матеріалу: Zr702 (ASTM B493 клас R60702)

Ступінь чистоти: 99,95% (3N5) на основі -металу (без Hf-)

Основні сфери застосування: удосконалена упаковка напівпровідників, оптичне покриття, задній електрод сонячної батареї, мікроелектронний з’єднувальний шар (процес PVD)

Виробничі стандарти: відповідає ASTM B493/B493M-14 (специфікації для поковок з цирконію та цирконієвих сплавів) і SEMI M13-1102 (загальні специфікації для мішеней для напилення)

Теоретична щільність цирконієвої мішені для напилення становить 6,51 г/см³, її щільність більше або дорівнює 99,0%, її теплопровідність становить 22,6 Вт/м·K, а її коефіцієнт теплового розширення (20–300 градусів) становить 5,7 × 10⁻⁶ /K. Ці параметри є виміряними значеннями для мішеней з Zr702 високої-чистоти у стандартному відпаленому стані, придатних для -магнетронного напилення постійним/радіочастотним розпиленням із високою{10}}потужністю та демонструють термічну стабільність, вищу за якість матеріалів із чистотою 99,9%.

Вимоги до якості поверхні продукту та мікроструктури:

Розмір зерна: Менше або дорівнює 50 мкм (середній), виміряний за допомогою EBSD (дифракція зворотного розсіювання електронів), зі стандартним відхиленням розподілу зерна за розміром Менше або дорівнює 15 мкм.

Шорсткість поверхні (Ra): Менше або дорівнює 0,8 мкм, виміряна за допомогою 3D оптичного профілометра (ISO 4287), без подряпин, вм'ятин і ямок.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 мм² відбраковується.

Мікроструктура: однорідна рівновісна -фазова структура. SEM (збільшення 500×), без пор, включень і сегрегації.

Усі мішені ущільнюються за допомогою гарячого ізостатичного пресування (HIP), щоб забезпечити міцність зв’язку між межами зерен, що перевищує або дорівнює 180 МПа, що відповідає вимогам відсутності розшарування після 500 годин безперервного напилення.

Технічні характеристики упаковки та доставки цирконієвої мішені для напилення (відповідає GHS та IEC):

Внутрішня упаковка: запечатана під вакуумом (менше або дорівнює 1 × 10⁻³ мбар) + заповнена аргоном високої -чистоти (99,999%), що відповідає ASTM F2095.

Зовнішня упаковка: двошаровий-волого-мішок із алюмінієвої фольги + амортизаційна піна EPE + дерев’яний ящик (відповідає ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Етикетка захисту від вологи: Волого{0}}захищена + індикаторна карта вологості (менше або дорівнює 5% RH), відповідно до IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Відповідає GHS 7-го перегляду, містить 16 стандартних розділів, включаючи ризики вибуху Zr пилу (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Транспортна етикетка: UN 1399 (не-займистий твердий метал) + корозійні речовини.

Кожна коробка містить пакет осушувача (силікагель) і реєстратор вологості. Контроль температури під час транспортування: 5–30 градусів, відносна вологість менше або дорівнює 40%.

FAQ

З: Чи можете ви надати типові приклади використання цирконієвої мішені для напилення?

Відповідь: Десять провідних світових виробників напівпровідників, зокрема TSMC, Samsung Electronics, Intel і SK Hynix, є непрямими кінцевими-користувачами цирконієвих мішеней. Їх передові процеси (такі як вузли нижче 5 нм) широко використовують мішені Zr702 для металевих бар’єрних шарів, шарів пасивації інтерфейсу та структур з’єднання, нанесених за допомогою обладнання PVD, такого як Applied Materials Endura® та Lam Research Kiyo®. Таким чином, цирконієві мішені впроваджуються як ключові функціональні матеріали в процеси масового виробництва.

Провідні міжнародні дисплеї та фотоелектричні компанії, такі як LG Display, Samsung Display і First Solar, використовують цирконієві мішені високої-чистоти у покритті електродів OLED-панелей і виробництві задніх електродів сонячних елементів CIGS, щоб досягти низького{1}}опору, високої{2}}стабільності металевої тонкої плівки, що відповідає вимогам великої-площи та високо-рівномірного виробництва.

Аерокосмічні й оборонні-компанії високого класу, зокрема Lockheed Martin, Boeing і Northrop Grumman, використовують цирконієві мішені для PVD-осадження високо-температурних, корозійно-стійких покриттів, які наносяться на компоненти двигунів, системи теплового захисту та радіолокаційні стелс-структури. Їхні стандарти закупівель суворі, вимагають відповідності сертифікації AS9100D і відстеження сертифіката автентичності партії.

З: Чи приймаєте ви банківські акредитиви?

В: Так, ми приймаємо акредитиви (L/C) як спосіб оплати покупок. Будь ласка, залишайтеся на зв'язку.

З: Чи сертифіковані цирконієві напилювальні мішені за стандартами ISO 9001, IATF 16949 і AS9100?

В: Так, у сфері цирконієвих мішеней для напилення для промислових і -стандартів високого класу сертифікації ISO 9001, IATF 16949 і AS9100D стали універсальними та обов’язковими стандартами входу.

Популярні Мітки: цирконієва напилювальна мішень, виробники, постачальники, фабрика цирконієвої мішені напилення